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MX61 y MX61L

Con nuestra extensa experiencia en los sectores de la industria y las ciencias de materiales, Olympus ofrece muchas soluciones específicas para hacer más fácil, rápida y eficaz la inspección de dispositivos electrónicos.

Los microscopios para inspección de semiconductores MX61 y MX61L fueron desarrollados específicamente para atender las exigencias de la inspección de obleas. Estos microscopios son fáciles de usar y permiten que los operadores trabajen en una posición ergonómicamente correcta, además de aprovechar una operación más estable durante períodos de inspección prolongados. De esta manera, se potencia al máximo la productividad y la integración de los instrumentos en el área de trabajo.

Modelos:

MX61: Inspección de obleas de 6” y 8”

MX61L: Inspección de obleas de 300 mm









| Características y Beneficios | | Accesorios | | Dimensiones | | Catálagos | | Especificaciones |

Características y Beneficios

Los microscopios Olympus MX benefician a los usuarios desde el principio, ya que satisfacen sus necesidades por completo, sin desperdiciar tiempo y dinero.

  • Encendido rápido
  • Fácil operación
  • Análisis de fallas
  • Ampliación futura

Contraste siempre óptimo
La detención de apertura motorizada integrada se ajusta automáticamente al objetivo en uso. De esta manera, se obtiene la mejor calidad de imagen para cada aumento, las inspecciones de rutina se vuelven más cómodas para la vista y se mejora el índice de detección de fallas.

Diversos métodos de observación
El MX61 viene equipado de fábrica con iluminación de campo claro y campo oscuro. También es posible la inserción de un cubo de observación para alcanzar la luz polarizada y así obtener contraste de interferencia diferencial (DIC) o iluminación por fluorescencia para la detección de capas de resistencia y partículas orgánicas.

Controles frontales intuitivos para operación más rápida
Con el MX61 no hay necesidad de pasar mucho tiempo buscando una posición cómoda o los controles adecuados. Todos los controles importantes están a mano en la parte frontal del microscopio, cerca de las perillas de enfoque. El cambio de objetivo, los ajustes de iluminación y de detención de apertura se pueden realizar sin necesidad de sacar la vista de los oculares.

Diseño compacto
El diseño compacto y delgado del MX61 hace más fácil encontrar lugares de trabajo prácticos y rentables. El diseño estilizado reduce la distancia de transferencia entre los sistemas de manipulación de obleas y la platina del microscopio. Esto aumenta la velocidad de transferencia de obleas y, al mismo tiempo, minimiza el riesgo de contaminación.

Diseño ergonómico
El MX61 cumple con las normas SEMI S2/S8 más recientes, lo que asegura resultados confiables y una cómoda operación.

Preparado para imágenes digitales
El MX61 está equipado con una interfaz de PC que permite observar el estado del microscopio. De esta manera, los aumentos del objetivo se pueden almacenar automáticamente mientras se toma una imagen. Esto asegura la confiabilidad de la información de la imagen para su análisis y procesamiento posteriores.

Nuevo iluminador de campo oscuro y objetivos con diseño renovado
El nuevo iluminador del MX61, junto con los nuevos objetivos de Plan Fluorita BD2, proporciona hasta el doble de contraste en campo oscuro que otros microscopios de su clase, lo que permite la detección de defectos mínimos con mucha más rapidez y confiabilidad.


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Accesorios

Diseño perfecto para la conexión de cargador de obleas (opcional)
El diseño del estativo del MX61 se adapta perfectamente a los cargadores de obleas serie AL110 de Olympus. El diseño estilizado del estativo del MX61 acorta la distancia de transferencia y acelera la manipulación de obleas como nunca antes.

Enfoque automático láser en tiempo real (opcional)
Para tareas de inspección totalmente automatizadas, o para la inspección de muestras de bajo contraste (por ej., superficies brillantes), la función de rastreo del foco automático láser en tiempo real asegura siempre la posición correcta de enfoque.

Disco confocal para imágenes en tiempo real con una resolución de 0.2 µm (opcional)
Para la inspección de los más avanzados dispositivos semiconductores, la resolución del MX61 puede mejorarse con el módulo confocal U-CFU. El disco patentado brinda excelente brillo y contraste.

Iluminación por infrarrojos reflejada para ver dentro de la oblea (opcional)
El MX61 permite la adaptación de componentes ópticos infrarrojos especiales para posibilitar la microscopía por infrarrojos. Esto permite ver a través de las capas de silicio que no son transparentes para la luz visible.

Observación con fluorescencia para fácil detección de residuos de resistencia
Para la fácil detección de residuos de resistencia y partículas orgánicas, el MX61 puede equiparse con un cubo de espejo de fluorescencia y fuentes de luz de alta intensidad.


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Dimensiones



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Catálagos

!Aviso! La información de los siguientes catálogos solo esta disponible en Inglés.


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Especificaciones

Modelo

MX61

MX61L

Sistema Óptico UIS (Sistema Infinito Universal)
Plataforma del Microscopio Iluminación por Luz Reflejada (F.N. 26.5)
Lámpara halógena de 12V / 100W (tipo precentrado)
Cubo con espejo para campo claro / oscuro (opcional) más 1, método de cambio
Diafragma de apertura motorizada incorporado
(Preajuste para cada objetivo, apertura automática para observación en campo oscuro)
Iluminación Transmitida*(F.N. 26.5)
*Cuando se combina la unidad de iluminación transmitida MX-TILLA o MX-TILLB.
Iluminación por fuente de luz LG-PS2 y luz guía LG-SF (lámpara halógena de 12V / 100W) o equivalentes.

1)MX-TILLA: condensador (N.A.0.5), con detención de apertura
2)MX-TILLB: condensador (N.A.0.6), con detención de apertura y campo

Métodos de Observación
1) Campo claro con luz reflejada,
2) Campo oscuro con luz reflejada,
3) DIC Nomarski con luz reflejada,
4) Polarización simple con luz reflejada,
5) Fluorescencia con luz reflejada,
6) Infrarrojos (IR) con luz reflejada,
7) Campo claro con luz transmitida,
8) Polarización simple con luz transmitida

*Se requieren cubos separados (opcionales) para los Nº 3, 4 y 5.
*Para los Nº 7 y 8 se requiere combinación con una unidad de luz transmitida.
Portaobjetivos 1) Portaobjetivos giratorio motorizado de 6 posiciones con ranura deslizable para DIC: U-D6REMC
2) Portaobjetivos giratorio motorizado de 5 posiciones BD con ranura deslizable para DIC: U-D5BDREMC
3) Portaobjetivos giratorio motorizado de 5 posiciones centrable con ranura deslizable para DIC: U-P5REMC
Rotación hacia adelante con botón de cambio de objetivos en el panel frontal del microscopio, o directamente con el interruptor de mano U-HSTR2 (designado por el usuario)
Tubo de Observación 1)Tubo trinocular de campo súper amplio, inclinación de imagen erecta (F.N.26.5): MX-SWETTR
2) Otros: tubo trinocular de campo súper amplio/tubo binocular de campo súper amplio
Tubo trinocular de campo súper amplio, inclinación de imagen erecta (F.N.26.5): MX-SWETTR o U-SWETTR (MX-SWETTR está equipado para el MX61L como componente estándar)
Platina 1) Platina MX-SIC8R de 8x8” Distancia: 210x210mm (Área de iluminación con luz transmitida: 189x189mm)

2 )Platina MX-SIC6R2 de 6” x6”Distancia: 158x158mm (sólo para uso con luz reflejada)
Platina MX-SIC1412R2 14x12” Distancia: 356x305mm (Área de iluminación con luz transmitida: 356x284mm) combinación con MX-TILLB
Mecanismo de deslizamiento con ruedas, sistema de control por correa (sin cremallera), función de embrague (sistema de detención del control por correa)
Dimensiones / Peso Dimensiones: aprox. 509(ancho) x 843(largo) x 507(alto)mm
Peso: aprox. 40kg
(sólo la plataforma del microscopio: aprox. 27kg)
Dimensiones: aprox. 710(ancho) x 843(largo) x 507(alto)mm
Peso: aprox. 51kg
(sólo la plataforma del microscopio: aprox. 31kg)
Sistema Eléctrico Fuente de luz reflejada incorporada 100-120V/220-240V, 1.9/0.9A, 50/60Hz
Fuente de luz transmitida (LG-PS2) 100-120/220-240V, 3.0/1.8A, 50/60Hz

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