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MX80

El microscopio de inspección de semiconductores automatizado MX80 de 200/300mm ha sido diseñado para cumplir la difícil misión de proporcionar: fácil operatividad, inspecciones cómodas, mayor protección contra la contaminación por polvo y conformidad con los más avanzados requisitos actuales de diseño. Al combinar la óptica UIS de renombre de Olympus con la automatización avanzada, el MX80 cumple con una gran variedad de requisitos de inspección, y permite acceder a imágenes optimizadas instantáneamente, con sólo pulsar un interruptor.

El MX 80 posee una unidad de foco automático que mejora la precisión y velocidad del enfoque, además de cumplir con los requisitos para grandes aumentos y con todos los métodos de observación de luz reflejada.

Además, las numerosas funciones avanzadas, que incluyen la capacidad de vínculo directo externo a través de un puerto RS232C hacen del MX80 un microscopio adecuado tanto para inspecciones independientes como para tareas que requieran conexiones con sistemas automatizados externos.

El estativo del MX80 también es la esencia de nuestros avanzados sistemas de inspección Deep UV, donde la precisión de la resolución de 0.08µm demuestra la excelencia de la estructura y la estabilidad de este modelo.

Características y Beneficios

Resistencia a la vibración: la construcción del estativo absorbe vibraciones internas y externas para inspecciones de obleas de 200/300mm
La automatización del diafragma de apertura que emplea una torre motorizada de 6 posiciones y un orificio circular selecciona automáticamente la mejor apertura para optimizar el contraste
Control de contaminantes: el sellado de las unidades evita que las piezas móviles y las muestras estén en contacto con contaminantes peligrosos
Diseño ergonómico: estativo rígido, diseñado ergonómicamente con mango de embrague en la parte frontal para maniobrar la platina manual y la unidad de control, que se encuentra cerca de las manos del operador para facilitar la operación
Eficiencia: Rastreo del enfoque automático láser con rapidez y seguridad
Iluminación flexible: una extensa variedad de modos de observación, que incluye campo claro, campo oscuro, DIC Nomarski, luz polarizada y fluorescencia

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Accesorios

Cargador de obleas AL110: para la inspección de obleas de 150/200mm. Ofrece distintos modos de inspección, que incluyen modo secuencial, de inspección microscópica, inspección macroscópica superior con inclinación de joystick, inspección macroscópica trasera con ángulo de inclinación seleccionable.
Se puede utilizar una unidad de control de enfoque opcional para conversión de objetivos y activación o desactivación de la función de foco automático. Este tipo de operación “a ciegas” permite que el operador se mantenga atento a la inspección, sin sacar la vista del tubo de observación.

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Catálagos

!Aviso! La información de los siguientes catálogos solo esta disponible en Inglés.

MX / BX2-CFU Catalog (PDF) 624KB

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Especificaciones

MX80
Tubo de Observación		Tubo trinocular de campo súper amplio, inclinación de imagen erecta (U-SWETTR) Conversión de haz óptico (100:0/20:80), ángulo de inclinación de 2° a 35°, F.N. 26.5, Eje óptico: punto ocular de aproximadamente 300mm (horizontal)
		Tubo trinocular de campo súper amplio, inclinación de imagen erecta para uso de platina motorizada (MX-SWETTR300); conversión de haz óptico (100:0/20:80), ángulo de inclinación de 0° a 45°; función integrada de aumento variable 1/2.5x; F.N. 26.5, Eje óptico: punto ocular de aproximadamente 500mm (horizontal)
Portaobjetivos Giratorio		Portaobjetivos giratorio BF/DF motorizado de 6 posiciones (motor central integrado)
		Portaobjetivos giratorio BF/DF/DIC motorizado de 6 posiciones (motor central y prismas DIC integrados) Interruptor de prisma DIC motorizado (modo de observación, entrelazado con objetivo) Prisma incorporado: 2 tipos para objetivos UM y LM (para aumentos muy altos) Cambio de retardo DIC motorizado
Iluminación por Luz Reflejada	Sistema de Iluminación (Integrado)	Selección motorizada de modos de observación (selección de torre de 4 cubos para BF, DF, DIC, POL y FL) Torre de 6 platinas AS entrelazada con objetivo/apertura FS automática en DF (tamaño de FS fijo), montaje/desmontaje motorizado del analizador (para DIC combinado con enfoque automático) Fuente de luz: Lámpara halógena de 12V/100W (El ajuste de intensidad se puede predeterminar de acuerdo al objetivo en uso.), 100 W Hg, 75 W Xe Bolsillo de filtros (Ø25mm, puede alojar hasta 3 filtros. Interruptor manual). DND incorporado (interruptor manual)
	Sistema AF (Integrado)	Método de láser activo, longitud de de onda=780nm, compatible con CDRH Clase 1 Aumento de 5x a 250x, función de compensación; reflejo de muestra aplicable de 3% a 100% (otro valor para objetivo 250x) Repetibilidad ±0.2µm (objetivo=150x ); alcance de rastreo de enfoque 10.000µm - 15µm (2.000µm para objetivo 20x) Las exclusivas unidades de espejo DF/DIC se usan para combinación con AF
Iluminación Transmitida (Opcional)		Condensador: N.A. 0.6/D.T. 30mm (se puede observar el espesor de la máscara t-9mm) Diafragma de campo. Altura de condensador ajustable Se requiere fuente de luz separada (lámpara halógena LG-PS2* 12V/100W) y una guía de fibra óptica (LG-SF*).
Plataforma del Microscopio		Estativo compatible para inspección de obleas de 200/300mm Interfaz de comunicación externa RS232C, interruptor de alimentación en la plataforma del microscopio
		Unidad de enfoque motorizada Distancia vertical 25mm; resolución de dirección Z; 50nm (con objetivo de aumento 50x o superior) Velocidad de enfoque entrelazada con objetivo; ajuste de enfoque para cada objetivo; límite superior; descenso de plataforma (retorno)
Unidad de Operación Principal		Interruptores de mano principales con 2 selectores y 11 botones Pantalla LED con 7 segmentos
Unidad de Control de Enfoque		Unidad de control de foco con 1 perilla y 5-botones (unidad de operación auxiliar)
Suministro de Alimentación		Fuente de luz de 12V/100W, generador de alimentación para control motorizado (montaje por separado)
Platina		Distancia XY de MX-SIC8R: (X) 210mm x (Y) 210mm AL110-VS8 (para cargador de obleas de 200mm/150mm modelo AL110) Distancia XY de MX-SIC1412: (X) 355.6mm x (Y) 304.8mm Puede alojar varios tipos de platinas motorizadas de otros fabricantes (Necesita resorte adicional para platinas de 10kg o más)
Objetivo		Objetivos UIS (adaptador de objetivo combinado para objetivos de campo claro)
Ocular		Oculares UIS (F.N. 26.5)
Consumo de Energía		100 - 240 V ± 10% ~ 4.8 A; 50/60Hz
Peso		Plataforma de microscopio con tubo de iluminación AF incluido: 53kg Aproximadamente 73kg junto con los módulos estándar (portaobjetivos giratorio DIC motorizado de 6 orificios, U-SWETTR, MX-SIC8R)

*Nota: El modelo o tipo puede variar según la región.

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