Deep UV-Microscopía óptica extendida de 0.25µm a sub-0.10µm.
El MX80-DUV utiliza óptica Deep UV-UIS (Sistema Infinito Universal) de 248 nm para establecer nuevos estándares de inspección y proporciona una resolución y contraste inigualables mediante el uso de una composición de objetivo con Fluorita patentada (CaF₂) de Olympus y cuarzo. Esta fórmula prácticamente elimina las aberraciones cromáticas si se comparan con otras ópticas de Deep UV. Es posible capturar imágenes detalladas con una cámara UV CCD de alta resolución y procesarlas digitalmente para visualizarlas o almacenarlas. El enfoque automático opcional de Olympus hace posible la observación y la obtención de datos de imagen esenciales aún más rápido. La iluminación Deep UV revela imágenes fabulosas que brindan una valiosa comprensión del análisis de fallas, el control de calidad o la ingeniería de procesos.

Con la rápida disminución de tamaño de las obleas de semiconductores, dispositivos de almacenamiento de datos y otros componentes microelectrónicos, crece la necesidad de ampliar los límites de resolución para la inspección óptica. El MX80-DUV de Olympus es la respuesta para este problema, ya que integra a la perfección un objetivo Deep UV 100x con transmisión de 248nm y las técnicas estándares de formación de imagen de la microscopía con luz, incluidas campo claro, campo oscuro, DIC y confocal. El resultado es una herramienta de inspección de última generación, que duplica en forma eficaz el límite de resolución de los microscopios convencionales.

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La tecnología patentada Air-Gap de Olympus extiende la vida útil de la óptica DUV
La construcción especial de la lente del objetivo MDUVPL 100XUV 248NC Deep-UV extiende la vida útil del objetivo. La vida útil de la lente no resulta afectada por la longitud de onda de la iluminación. Este microscopio proporciona un alto rendimiento óptico del sistema a bajo costo.

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Una amplia gama de lentes para tubo que brindan aumentos de 4500X* o superiores. Estas opciones permiten que los operadores consigan fácilmente imágenes detalladas de las muestras. Un módulo confocal opcional puede ampliar aún más la resolución. La combinación de la óptica DUV con el módulo confocal aumenta la resolución y el contraste con detalles menores a 0.1µm.
	Un accesorio de platina automatizada para el MX80-DUV permite el rápido acceso a sitios específicos en una oblea o sustrato para inspecciones comparativas.

* Basado en la combinación de un ocular de 15X, aumento intermedio de 3X y el objetivo 100XDUV.

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