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LEXT OLS3100

Olympus Industrial America lanzó el LEXT, un nuevo microscopio confocal de barrido láser diseñado para imágenes de submicrones, con una resolución extraordinaria de 0.12um y capacidad de medición tridimensional precisa. El poder de aumento de 120x hasta 14.400x satisface las necesidades de los investigadores que trabajan entre los límites de los microscopios ópticos convencionales y los microscopios de electrones de barrido (SEM).

Características y Beneficios

El LEXT combina un láser de 408nm con una óptica específicamente diseñada para la operación con longitud de onda para optimizar la calidad de la imagen y limitar las aberraciones. El software Olympus proporciona una interfaz simple de usuario, proceso rápido y análisis avanzado en una solución única.

Las técnicas de microscopía de campo claro, campo oscuro y Contrate de Interferencia Diferencial (DIC) son posibles tanto en los modos de imagen confocal de video y láser. El nuevo modo DIC de láser confocal es especialmente útil para resaltar las sutiles variaciones texturales durante el análisis de la superficie.

1. Notable poder de resolución
El diodo láser 408nm se combina con una óptica específicamente diseñada para la operación con longitud de onda para optimizar la calidad de la imagen y limitar las aberraciones. El poder de resolución se mejora mediante la óptica confocal que presenta un orificio circular adicional y optimizado y un barrido XY de alta velocidad de la tecnología MEMS de Olympus. El resultado es una resolución de plano, líder en todo el mundo, con una clara resolución de patrones de un ancho de línea de 0.12µm.

Además, el LEXT no necesita preparación de las muestras tales como cortes en trozos pequeños, resquebrajamientos y deposiciones. Por lo tanto, el LEXT proporciona una operación eficaz superior que los microscopios electrónico de barrido (SEM).

(Au Bumb)

(MEMS Parts)

(Metal Rust)

2. Adquisición de imágenes 3D y de “colores reales” en simultáneo
Una característica única del LEXT es la capacidad de visualizar muestras en 3D y de “colores reales” mediante la combinación de la imagen láser con una imagen de campo claro a todo color en la computadora del sistema. Una utilización adicional del DIC permite la identificación de diferencias mínimas de nivel en la superficie de una muestra. El alcance de los métodos de contraste se completa con el campo oscuro para la detección de marcas y grietas.

3. Medición de alta precisión en 3D
Medición en 2D: se ajusta mejor a la medición de anchos entre 1.5mm y 1 µm. Permite tanto mediciones de ancho de línea como geométricas (por ejemplo, el diámetro de un círculo).

Medición en 3D: se ajusta mejor a la medición de protuberancias entre 1mm y 0.5 µm. Se pueden medir en 3D el volumen, la capacidad, el área de superficie, etc. También se puede medir el espesor de una película delgada transparente.

Análisis de rugosidad: Se ajusta mejor al análisis de rugosidad de alrededor de Rz 0.1µm. Permite el análisis de rugosidad de línea y superficie. El sondeo sin contacto deja a la muestra sin marcas.

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Óptica

Foco en la resolución

El sistema óptico sofisticado, especialmente desarrollado por Olympus para la operación a 480nm, brinda una resolución de imagen notable y minimiza las aberraciones asociadas con la iluminación de longitud de onda corta y maximiza el rendimiento de la fuente de luz de 408nm. El poder de resolución se mejora mediante la óptica confocal que presenta un orificio circular adicional y optimizado y un barrido XY de alta velocidad de la tecnología MEMS de Olympus. El resultado es una resolución de plano, líder en todo el mundo, con una clara resolución de una línea de 0.12um y patrones de espacio de 0.01um de altura, para una medición ultra precisa de superficies de fabricación microscópica.

Sistema óptico UV de 408nm

Barrido de 2 dimensiones (ilustración conceptual)

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Accesorios

1. Capacidades del microscopio óptico convencional
Al igual que los microscopios ópticos, operar el LEXT no requiere un conocimiento especial: la imagen puede verse apenas se coloca la muestra en su lugar, lo que permite a cualquier persona realizar la observación y la medición en forma rápida y sencilla. Se brindan las capacidades conocidas del microscopio óptico tales como observación en campo claro, campo oscuro y DIC Nomarski, así que incluso puede detectarse en forma instantánea el mínimo daño o defecto.

(Campo claro)

(Campo oscuro)

(DIC Nomarski)

2. Platina motorizada (OLS30-CS150AS): para un rendimiento rápido y preciso

La función de mosaico permite un área más amplia de adquisición y medición de imagen.

La función de mosaico permite juntar varias imágenes en una imagen compuesta simple, aumentando el área de observación total a un máximo de 12.8x12.8mm y permitiendo una medición de imagen rápida y precisa. Los procedimientos de captura de imágenes se establecen con el formato de una receta, lo que vuelve al trabajo más rápido y más eficaz.

Adquisición continua

Imagen en mosaicos

Imagen 3D

Mediciones continuas de puntos múltiples

Se permite la captura continua y automática de posiciones registradas en la muestra en las mismas condiciones que para tomar y registrar dicha captura en forma automática.

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Dimensiones

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Especificaciones

LEXT OLS3100
	Barrido Láser	Universal
Método de Observación	Láser	Láser Láser-DIC Nomarski Campo claro Campo oscuro DIC Nomarski
Cuerpo Principal - Iluminación	Láser LD de 408nm (Clase 2)	Láser LD de 408 nm (Clase 2) Lámpara halógena de 12V100W
Platina Z	Movimiento vertical - 70 mm Altura máxima de la muestra - 100 mm
Portaobjetivos Giratorio Z	Distancia - 10 mm Resolución - 0.01 um
Objetivo	5X, 10X, 20X, 50X, 100X
Zoom Óptico	1X - 6X
Aumentos Totales	120X - 14400X
Campo de Visión	2560 X 2560 um - 21X21 um
Platina	Platina Manual	100 X 100 mm
Platina	Platina Motorizada	150 X 100 mm
Memoria de Cuadros	Intensidad	1024 X 1024 X 12 bits
Memoria de Cuadros	Altura	1024 X 1024 X 16 bits
Foco Automático	Tipo de reflejo láser
Peso	56.9 Kg	57.5 Kg

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